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区别于一般计算机中的C语言编译器，嵌入式系统中的C语言编译器要专门进行优化，以提高编译效率。的嵌入式系统C编译器代码长度和执行时间仅比以汇编语言编写的同样功能程序长5~20%。编译质量的不同，是区别嵌入式C编译器工具的重要指标。而C编译器与汇编语言工具相比残余的5~20%效率差别，完全可以由现代微控制器的高速度、大存储器空间以及产品提前进入市场的优势来。
新型的微控制器指令及SOC速度不断提高，存储器空间也相应加大，已经达到甚至**过了目前的通用计算机中的微处理器，为嵌入式系统工程师采用过去一直不敢问津的C++语言创造了条件。C++语言强大的类、继承等功能便于实现复杂的程序功能。但是C++语言为了支持复杂的语法，在代码生成效率方面不免有所下降。
C/C++/EC++引入嵌入式系统，使得嵌入式开发和个人计算机、小型机等之间在开发上的差别正在逐渐消除，软件工程中的很多经验、方法乃至库函数可以移植到嵌入式系统。在嵌入式开发中采用语言，还使得硬件开发和软件开发可以分工，
从事嵌入式软件开发不再必须精通系统硬件和相应用汇编语言指令集。
一种语言，JAVA的发展则具有戏剧。JAVA本来是为设备独立的嵌入式系统设计的、为了提高程序继承的语言，但是目前基于JAVA的嵌入式开发工具代码生成长度要比嵌入式C编译工具差10倍以上。因此EC++很可能将成为未来的主流工具。
3.源程序模拟器(Simulator)
源程序模拟器是在广泛使用的、人机接口完备的工作平台上，如小型机和PC，通过软件手段模拟执行为某种嵌入式处理器内核编写的源程序测试工具。简单的模拟器可以通过指令解释方式逐条执行源程序，分配虚拟存储空间和外设，供程序员检查；的模拟器可以利用计算机的外部接口模拟出处理器的I/O电气信号。不同档次和功能模拟器工具价格差距巨大。
模拟器软件独立于处理器硬件，一般与编译器集成在同一个环境中，是一种有效的源程序检验和测试工具。但值得注意的是，模拟器毕竟是以一种处理器模拟另一种处理器的运行，在指令执行时间、中断响应、定时器等方面很可能与实际处理器有相当的差别。另外它无法和ICE一样，仿真嵌入式系统在应用系统中的实际执行情况。
4.实时多任务操作系统
Seiko Seiki STP-301CB1 Turbo Pump & SCU-21D controller
ADVANCED ENERGY RFG-1250 HALO
DPS II RF Source Matching Network (0190-15168)
ADVANCED ENERGY PDW 2200 AE PDW 2200 LAM 660-015516-014
COMDEL CPS1001S 13.56mhz RF GENERATOR P/N 0190-70099
COMDEL CLX-2500 RF GENERATOR
COMDEL CLX2500 RF GENERATOR PART # FP1335R4
ADVANCED ENERGY PDW 2200 AE 3156011 Lam 853-015516-002
COMDEL CX1250S RF POWER SUPPLY
COMDEL CPS-500AS RF POWER SOURCE AMAT P/N 0190-13320
AMAT PART # 0200-20060 INSULATING QUARTZ 6" SMF PC11
THERMCO PCB ASSEMBLY PART # 110568-005 Z-80 PROCESSOR
NOVELLUS NICKEL SPINDLE SHAFT
AMAT PART # 0200-35145 ADAPTER WINDOW 2mm RP CHAMBER
ADVANCED ENERGY PDX 500 RF GENERATOR
LAM PART # 770-008341-002 PNEUMATIC CYLINDER
AMAT PART #0200-20074 DOOR PRECLEAN CHAMBER QUARTZ
AMAT PART # 0020-24435 INSULATOR QUARTZ 8"
PARKER THREE WAY VALVE MODEL # 955Y3NC
THREE WAY VALVE AMAT PART # 3870-02221
NOVELLUS ANALOG INPUT PCB SLOT 6 PART # 19-00126-00
AMAT PART # 0200-35539 200mm BLADE ROBOT QTZ w/RADIUS
AMAT ENDURA COVER RING PART # 0020-24804
CENTURA SLIT VALVE DOOR PART # 0021-09922
AMAT PART # 0200-10455
NOVELLUS THERMOCOUPLE UNIT PART # 03-10411-00
LAM ESC POWER SUPPLY DISTR. PCB PART # 810-370141-001
AMAT PART #0020-29343 DARK SPACE SHIELD CLAMP
AMAT PORT SERVER CABLE PART # 0140-77615
AMAT PART # 0200-76019 10N SHIELD LIFT
AMAT PART # 0200-32985 GAS RING 12 HOLES
MKS ISOLATION VALVE MODEL # L2-40-AK-225-VNVNH
AMAT PART 0020-19002